基于MEMS振镜的光纤光栅高速解调系统

分类： 工程与技术科学 >> 仪器仪表技术 提交时间： 2024-02-06

杜贺朋 刘秀峰 彭家春 李忆祥 李敏

摘要： 基于F-P滤波器构建的解调系统解调频率较慢，测量变化频率较高的物理量时会产生解调误差，因此在保证解调精度的前提下提高解调频率是十分有必要的。为此本文提出了一种基于MEMS振镜的解调系统，包括搭建基于MEMS振镜构建的解调系统，使用光纤波长标准具解决控制MEMS振镜的驱动电压与输出波长存在非线性 误差影响解调精度的问题，并借助中心波长定位原理和寻峰算法解调传感器应力波长值。最后使用等强度悬臂梁对解调系统进行静态性能测试，电机驱动柔性板分别进行频率为1 Hz和5 Hz的正弦曲线运行并使用解调系统采集运动曲线。实验表明该解调系统的线性度为0.85%，对采集的波长曲线进行拟合，R2最大值为0.9847。

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